工業制氧方面，對于中小規模的制氧需求，也有使用變壓吸附制氧的，包括PSA制氧及VPSA制氧工藝，工作原則是利用高效的氮氧分離吸附劑吸附氮氣，吸附一定時間進行解吸再生，周期性操作，兩塔或者更多吸附塔并聯，達到連續產氧的目的。

氧氣的工業制法是利用液氮的沸點比液態氧氣的沸點低，從而制得工業氧氣。采用的方法為物理方法，首先采用低溫加壓的方式，將空氣液化。然后調節溫度，利用液態氮的沸點低于液態氧，將液態氮蒸騰出去，剩下的即主要為液態氧。

氣體純化設備主要是根據原料氣中所含的不同成分雜質以及需要去處的雜質，采用不同的工藝對原料氣進行提純的設備。提純技術包括化學反應、物理吸附、化學吸附等。常用的如催化反應、分子篩吸附、超低溫吸附、金屬吸氣劑吸附，鈀合金膜擴散純化等，常用工藝包括PSA，TPSA等。采用什么樣的提純方法，利用何種工藝主要取決于需分離的雜質以及純化后的雜質含量要求。

小型廂體式制氮機是以經過除油除水凈化處理后的壓縮空氣為原料，以碳分子篩為吸附劑，在低壓狀態下，利用空氣中的氧和氮在碳分子篩中的擴散速率不同，將氧和氮在吸附塔中進行分離，使得空氣中的氧氣停留在碳分子篩中，氮氣則流出吸附塔進入氮氣儲罐，再經過濾輸出。當碳分子篩中所吸附的氧氣飽和后，壓縮空氣被切換進入另一只吸附塔進行同樣的吸附工作，吸附飽和的吸附塔則進行降壓解吸。這樣交替往復的吸附過程實現空氣的氮氧分離，從而連續產出所需氮氣。